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MEMS红外温度传感器 国内技术获得突破

春暖花开，新冠肺炎带给我们的压抑感好像已经过去，生活慢慢恢复了往日的模样，如果说有什么不同的话，大概就是人们出门都戴起了口罩，进出公众场合需要测量体温。

众所周知，体温检测在此次防控疫情中必不可少，体温检测是很重要的环节，因此，红外测温仪及高性能耳温枪、额温枪等非接触测温工具是当前对大规模人员进行发热筛查的主要工具之一，需求急剧增长。而这些测温工具里最核心的部件就是温度传感器了。

红外温度传感器

在自然界中，当物体的温度高于绝对零度时，由于它内部热运动的存环保意识的增强给生物降解新材料行业带来了巨大的发展机遇在，就会不断地向四周辐射电磁波，其中就包含了红外线。红外温度传感器就是利用这一原理制作而成的长治。因此，红外线传感器可以利用远红外线范围的感度来检测人体温度，以此来测量人体体温。

另外，它不仅可以用于测量人体温度，在工业生产中也很普遍，是很重要的一个热工参数，许多生产工艺过程均要求对温度进行监视和控制，特别是在化工、食品等行业生产过程中，温度的测量和控制直接影响到产品的质量和性能。因此，红外温度传感器可应用于检测温度的多方面。

红外温度传感器进口依赖

据了解，之前我国测温工具其核心部件MEMS红外温度传感器长期依赖于进口。红另外外温度传感器顾名思义，就是利用辐射热效应，使探测器件接收辐射能后引起温度升高，进而使传感器中一栏与温度的性能发生变化，因此，利用红外温度传感器可以制作成测温工具，来检测人体温度。

那么，进口会给我们带来哪些弊端呢？首先，短期内的进口海外元器件，使得仪器的生产成本很难被较好地控制住；其次，目前全球范围内都受到疫情的影响，进口原材料本身就存在一定的难度。MEMS红外温度传感器需要进口，就会导致了高性能耳温枪、额温枪及红外测温的生产其实是量规受到限制的。

红外温度传感器突破依赖进口

因此，中国兵器工业集团电子院华东光电集成器件研究所，自1月底紧急调整产品研制计划，提前复工复产，组建党员突击队和技术攻关小组，24小时不间断轮班开展研制工作，通过技术攻关，成功研制出了符合精度标准的红外温度传感器芯片，性能指标精度达到0.1℃烧结炉，抗干扰能力优于目前市场主流产品(性能指标精度为0.3℃)。

同时，华东光电集成器件研究所还采购全自动化组封装关键设备、补充芯片制造的关键设备，推动传感器芯片制造、组封装的国产化，预计到4月初，用上中国制造的MEMS红外温度传感器的高性能耳温枪、额温枪便可大量投放市场，满足市场需求了。

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最后，了解到，得益于国内应用需求的快速发展，我国传感器产业得到快速发展，在此次疫情防控和整个医疗行业的应用中也发挥了重要作用。传感器不仅可用于测温上，在疫情救治中，它也发挥了不可替代的作用，在隔离区，医护人员可通过传感器设备监测重症患者动脉血液中的氧含量高低，分析生命体征；在救治患者时，呼吸机应用气体质量、流量、压力和磁敏等传感器，监测和控制各项指标，实现对病人进行辅助呼吸治疗的目的；医院内，使用的无接触实验进程中配送机器人里也有传感器技术。可以说，在疫情期间，应用传感器的各种设备，精准采集与监测各类生理、环境等数据，提升了大家应对疫情的信心。